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单晶炉通用炉盖椭圆封头接管的展是生产实际中常见的问题。我们利用平行线展法建立了接管展的数学模型,借助计算机迅速准确地绘制展图,从而快速准确地下料,接管预制后,与封头的相贯线坡H组对后间隙均匀,提高了焊接速度,提高了生产效率和产品质量。
整个炉内不存在排气 不畅的地方,即不存在排气死角,既有效地防止了一氧化硅气体对加热器 和坩埚支持器等石墨器件的腐蚀,还可使吸附在这些石墨器件上的杂质粉 尘减少30%以上,从而确保了该炉的使用寿命,使所述石墨器件的使用寿 命从原来的90炉次提高11G炉次以上,另外还可对硅晶体的生长过程起 到稳定作用,使平均成品率从原来的65%提高68%以上,并可提高单晶 的内在质量。
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